日立扫描电镜：如何操作与维护 使用注意事项有哪些

日立扫描电镜操作与维护手册

一、操作指南

让我们开始日立扫描电镜的神秘世界。确保电源、真空泵和冷却系统正常运行，检查所有部件无损坏或松动。打开总电源，将电气柜开关调至自动模式，启动电炉加热并开始抽真空。等待30分钟后，打开系统软件，再次抽真空10分钟，此时您已准备好开始观测。

对于样品装载，务必确保样品清洁干燥。对于导电性差的样品，如绝缘体，需要喷镀金属层以增加其导电性。固定样品时，使用导电胶或银浆确保其稳固并底部平整。

进入参数设置与成像阶段，逐步增加高压至适宜值。对于导电性差的样品，建议的电压范围是20-25kV。调节对比度和亮度，使图像清晰并消除噪声。增加灯丝发射束流至饱和状态，并进行机械和物镜光阑的对中操作，以消除像散并调整至适当的放大倍数。

完成图像采集后，请按顺序关闭高压、真空系统和电源。保存您的观测成果，结束美好的电镜之旅。

二、维护要点

维护您的扫描电镜，保证其长久稳定的运行并延长使用寿命。日常清洁时，使用软布擦拭外壳和样品室，避免使用有机溶剂。定期检查真空泵油位，需要更换时及时更换泵油。监测电子枪灯丝的状态，一旦发现老化或损坏，立即更换。

为了保持仪器的准确性，建议每月进行一次仪器参数的校准，如加速电压和工作距离。环境控制也是关键。维持温度在15-25℃，湿度低于60%，并配备空调和除湿设备以保持实验室的洁净和干燥，避免震动和灰尘的影响。

三、使用注意事项

请遵循以意事项以确保操作的安全和仪器的正常运行。操作人员需接受专业培训，了解仪器的结构和性能。严禁频繁开关机或自行拆卸部件。在放置样品时，确保样品尺寸适配样品台，避免超载或污染腔体。

对于绝缘样品，务必进行喷镀导电层的处理，以防止电荷积累导致的问题。在关机时，请遵循“先高压后系统”的顺序，以保护电子元件免受冲击。如遇任何异常情况，请立即停机，记录故障现象并及时联系专业维修团队进行处理。

通过遵循本操作与维护手册的规范，您可以充分利用日立扫描电镜的先进功能，获得准确且可靠的数据，同时保证仪器的长期稳定运行。